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특허출원
출원일 출원 내용
2012. 05 화학기상증착장비용 서셉터의 히터 구조체 특허출원
2011. 07 수평용 플라즈마 용사장치 및 이를 이용한 수평형 플라즈마 용사방법 특허출원
2011. 07 공정액용 필터링 장치 및 이를 이용한 필터링 방법 특허출원
2011. 07 Rotary Target용 양극산화 처리장치 특허출원
2011. 07 서셉터 양극산화 처리 전해조 특허출원
2011. 06 Target과 BackingPlate의 비접착식 체결구조 특허 출원